シーメンス　レーザ式ガス分析計(一体型)
SITRANS SL

プロセスガスに含まれる酸素などのガス分子は近赤外線を吸収する性質を有しており、その吸収強度からガス濃度を知ることができます。この吸収帯(波長)は分子の種類によって様々であるため、測定したい分子の吸収波長をうまく選択することで、他の分子の干渉を受けることなくガス濃度を測定することができます。投光側センサユニットに内蔵されたダイオードレーザにて生成された近赤外波長レーザ光は、収束用レンズ、ウィンドウを経てプロセスガス中に投光されます。投光されたレーザ光は、プロセスガス中の酸素分子によって吸収を受けたのち、受光側センサユニットにて受光されます。受光側センサユニットにはインライン参照セルが内蔵されており、レーザ光はこの参照セル内を通過してフォトディテクタに到達します。受光したレーザ光から酸素濃度の演算にはSiemens独自のカーブフィットアルゴリズムが用いられ、プロセスガス圧力の変動やバックグランドガスの測定値への影響が除去されます。また、インライン参照セルには酸素の同位体(¹⁸O₂₎が封入されており、この¹⁸O₂による吸収信号を参照することによって常時レーザの自己校正を行い、長期間の安定測定を実現しています。