シーメンス 磁気圧式酸素分析計
OXYMAT6
- シーメンス
- プロセス用ガス分析計
- 磁気圧式
主な用途
製造プロセスの微量酸素分析計
主な特長
高性能(最小測定スパン0.5％)でドリフトの少ない分析計
腐食性ガス、有毒性ガスが含まれる酸素分析に最適
電気的ノイズや機械的な振動に強い構造
最大測定レンジ100％
サプレスゼロレンジにも対応(95％～100％)
4測定レンジを自由にプログラム
動作原理
OXYMAT6は、酸素がその他のガスとは異なり磁気に強い吸引力を受ける特性(パラマグネティック)を分析原理に活用した酸素分析計です。
電磁石(⑧)により発生した磁場において酸素分子は、このパラマグネティック特性により磁力の強い方向に引き付けられ、その部分のガス圧力を高めます。サンプルガスは薄い板状のサンプルセル(②)を通り出口に導かれます。一方、参照ガス(N2、O2、空気)(③)は均一対称に作られた2流路(④)を通じてサンプルセル(②)に導入されます。これらの2流路は、サンプルセルの上流でマイクロフローセンサ(⑤)を持つ流路とつながっています。パラマグネティック特性(⑥)で酸素が集まることにより参照ガスの流れが阻害され、参照ガス圧力はもう一方の部分の圧力より高くなるため圧力差によりマイクロフローセンサの流路に流れが生じます。マイクロフローセンサはこの流れを検出し酸素濃度に変換します。サンプルセルの容積を小さくし、サンプルガス流路とマイクロフローセンサ流路も短くすることで、測定応答時間を非常に短くすることが可能になりました。サンプルガスと参照ガスに50%以上の比重差がある場合、時として振動が発生し、ノイズの原因となります。この振動を補正することを目的にマイクロフローセンサ(⑦)流路をもう1箇所組み込んでおります。
