シーメンス　赤外線吸収式ガス分析計
(非分散型)
ULTRAMAT6

ULTRAMAT6は、6層検知器とオプティカルカップラを装備し、分子固有の赤外線放射光波長吸収特性に基づき、赤外線吸収式2ビーム交互照射法で測定しています。

約700℃に熱せられ、精度良く位置決めされた赤外線単発光源(①)より出た赤外線は光束分割セル(②)で等分にサンプル光束と参照光束に分割されます。この分割セルには、測定精度を低下させる干渉波長部分を取り除くガスが封入されており、フィルタとしても機能します。参照光束は、赤外線に不活性なガスで満たされた参照セル(③)を通過し、参照セル内で実質上吸収されることなく検知部(④)に届きます。サンプル光束は、サンプルセル(⑤)を通過中にサンプルガスによりその成分の吸収を受け、減衰して左側の検知部(⑥)に届きます。2層構造に設計された検知部には、サンプルガスに応じた同種類のガスが適切な濃度で満たされています。上層部と下層部の間にはマイクロフローセンサ(⑦)が組み込まれ、上層部と下層部の赤外線吸収量の差によるガス膨張圧力差を流量で測定します。オプティカルカップラ(⑧)は検知部下層の長さを光学的に延長する役割を持っています。また、スライダ(⑨)位置を調整することにより、下層部の赤外線吸収量を光学補正します。これらの機構は干渉成分の影響を最小にする役目を持っています。