シーメンス　レーザ式ガス分析計
LDS6

プロセスガスに含まれるCO、CO2、HF、NH3、HCI、H2Oなどの分子は、近赤外領域レーザを吸収する特性を有しており、その吸収強度から分子の濃度を知ることができます。この吸収帯(波長)は分子の種類によって様々であるため、測定したい分子の吸収波長をうまく選択することで、他の分子の干渉を受けることなくガス濃度を測定することができます。セントラルユニットに内蔵されたダイオードレーザにて生成された近赤外波長レーザは、ハイブリッドケーブルと呼ばれる光ケーブルを経由して投光センサからプロセスガス中に照射され、受光センサのフォトトランジスタにて電気信号として検出されます。この検出された電気信号は、再び光信号に変換されループケーブルおよびハイブリツドケーブルを経由してセントラルユニットに返ってきます。照射されたレーザ強度と受光されたレーザ強度を比較することで、測定対象ガス成分の濃度を測定することが可能となります。セントラルユニットは、測定対象成分を封入した参照セルを内蔵しており、この参照セルによって常時自己校正が行われます。
　また、ダイオードレーザの発光強度も監視しており、常時ダイオードレーザの異常監視およびゼロ校正が行われます。このため、LDS6は、標準ガスを用いての校正作業を行う必要がありません。